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Influence of Inner Crucible Radius Variation on the Thermal Field and Oxygen Transport in the Melt During the Growth of Silicon by Continuous Czochralski Method

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作者
Jiacheng Li,Xuekang Lv,Rongrong Hu,Salamat Ali,Gengjin Li,Jing Qi,Deyan He
出处
期刊：Silicon [Springer Nature]
日期：2024-10-24 卷期号：17 (1): 51-62 被引量：5
标识
DOI：10.1007/s12633-024-03184-5
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