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Studying the Atomic Layer Deposition of Molybdenum Oxide and Titanium–Molybdenum Oxide Films Using Quartz Crystal Microbalance

石英晶体微天平原子层沉积钼薄膜电致变色材料科学钛氧化物氧化钛无机化学化学工程图层（电子）纳米技术化学电极吸附冶金物理化学工程类

作者

A. M. Maksumova,Ilmutdin M. Abdulagatov,Д. К. Палчаев,М. Х. Рабаданов,А. И. Абдулагатов

出处

期刊：Russian Journal of Physical Chemistry A [Pleiades Publishing]
日期：2022-10-01 卷期号：96 (10): 2206-2214 被引量：7

标识

DOI：10.1134/s0036024422100181

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