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Surface generation and material removal behaviors in chemical–mechanical polishing of diamond with mixed abrasives

抛光化学机械平面化钻石磨料材料科学表面粗糙度泥浆复合材料表面光洁度磨损（机械）冶金金刚石切割硬度过程（计算）表面处理

作者

Kechong Wang,Chen Li,Ning Yang,Xiang Li,Yukui Wang,Oleg Zakharov

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2026-01-19 卷期号：727: 165989-165989 被引量：6

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2026.165989

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