Barrier metal between tungsten and silicon for high temperature processing

材料科学 扩散阻挡层 退火(玻璃) 活化能 冶金 分析化学(期刊) 图层(电子) 纳米技术 化学 物理化学 色谱法
作者
K. Suguro,Yasushi Nakasaki,T. Yoshii,T. Itoh
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:41-42: 277-281 被引量:4
标识
DOI:10.1016/0169-4332(89)90070-6
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