Influence of N2/Ar-flow ratio on crystal quality and electrical properties of ScAlN thin film prepared by DC reactive magnetron sputtering

薄膜 材料科学 溅射 分析化学(期刊) 电阻率和电导率 溅射沉积 氮化物 表面粗糙度 复合材料 冶金 纳米技术 化学 电气工程 工程类 色谱法 图层(电子)
作者
Jiancang Yang,Xiangqin Meng,Cheng‐Zen Yang,Wujun Fu
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:282: 578-582 被引量:16
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2013.06.014

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