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Carrier tuning of 2D electron gas in field-effect devices based on Al2O3/ZnO heterostructures

异质结 材料科学 电子 光电子学 费米气体 领域（数学） 工程物理 纳米技术 物理 数学 量子力学 纯数学
作者
Xinyi Zhu,Tianbao Zhang,Yongjie He,Yuhang Liu,Hao Zhu
出处
期刊：Nanoscale [Royal Society of Chemistry]
日期：2023-01-01 卷期号：15 (28): 12071-12077 被引量：7
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1039/d3nr00157a
摘要
The impact of the annealing process and oxide thickness on the 2DEG formed in the Al 2 O 3 /ZnO heterostructure is studied. FET device application with improved electrical performance is further realized based on the carrier tuning of the 2DEG system.
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