Evaluation of gamma- and neutron radiation emissions during proton irradiation of typical metals in semiconductor manufacturing

辐照 质子 辐射 中子 半导体 材料科学 放射化学 中子辐照 核物理学 核工程 光电子学 物理 化学 工程类
作者
Andrea Fugger,Moriz Jelinek,Markus Valtiner
出处
期刊:Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms [Elsevier]
卷期号:566: 165777-165777
标识
DOI:10.1016/j.nimb.2025.165777
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