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Multi-source wafer map retrieval based on contrastive learning for root cause analysis in semiconductor manufacturing

薄脆饼半导体器件制造计算机科学箱子人工智能数据挖掘工程制图工程类算法电气工程

作者

W. C. Hong,Chia‐Yu Shen,Pei-Yuan Wu

出处

期刊：Journal of Intelligent Manufacturing [Springer Science+Business Media]
日期：2023-11-06 卷期号：36 (1): 259-270 被引量：5

链接

springer.comdoi.org

标识

DOI：10.1007/s10845-023-02233-x

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