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The application of rapid thermal processing technology to the manufacture of integrated circuits—An overview

作者

Alan R. Bratschun

出处

期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
日期：1999-12-01 卷期号：28 (12): 1328-1332 被引量：8

标识

DOI：10.1007/s11664-999-0117-8

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