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Improvement of Ru-Co Liner for void-free Cu interconnect in extremely small pitch
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作者
Hehsang Ahn,
Hoyun Jeon,
Seung-Wook Lee,
Wonhyuk Hong,
Eunji Jung,
Rak-Hwan Kim,
T. H. Ha
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DOI:10.1109/iitc61274.2024.10732520
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