Use of boron heavily doped silicon slabs for gas sensors based on free-standing membranes

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作者
L. Fonseca,J. Santander,R. Rubio,N. Sabaté,E. Figueras,Marta Duch,I. Gràcia,C. Cané
出处
期刊:Sensors and Actuators B-chemical [Elsevier BV]
卷期号:130 (1): 538-545 被引量:12
标识
DOI:10.1016/j.snb.2007.09.081
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