Microstructure and property evolution of diamond-like carbon films co-doped by Al and Ti with different ratios

材料科学 微观结构 类金刚石碳 溅射 碳化物 碳纤维 兴奋剂 韧性 复合材料 残余应力 冶金 薄膜 纳米技术 光电子学 复合数
作者
Yong Zhou,Peng Guo,Лили Сун,Linlin Liu,Xiaowei Xu,Wenxian Li,Xiaowei Li,Kwang‐Ryeol Lee,Aiying Wang
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:361: 83-90 被引量:46
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2019.01.049

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