Recent progress of inorganic photoresists for next-generation EUV lithography

极紫外光刻 材料科学 平版印刷术 抵抗 纳米技术 下一代光刻 多重图案 工程物理 光电子学 电子束光刻 工程类 图层(电子)
作者
Yeo Kyung Kang,Sun Jin Lee,Sunghun Eom,Byeong Geun Kim,Chan-Cuk Hwang,Myung‐Gil Kim
出处
期刊:Journal of Materials Chemistry C [Royal Society of Chemistry]
卷期号:12 (39): 15855-15887 被引量:30
标识
DOI:10.1039/d4tc02671c
摘要

The continuous scaling down of semiconductor devices has significantly benefited consumers by enhancing the device performance, portability, power efficiency, and affordability.
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