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First principle study of V-implantation in highly-doped silicon materials

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作者

Gregorio García,Marcos Casanova‐Páez,Pablo Palacios,Eduardo Menéndez‐Proupin,P. Wahnón

出处

期刊：Computational Materials Science [Elsevier BV]
日期：2017-05-31 卷期号：136: 207-215 被引量：8

链接

upm.es upm.esdoi.org

标识

DOI：10.1016/j.commatsci.2017.05.005

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