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A study of gate recess-width control of InP-based HEMTs by a Si3N4 passivation layer

钝化材料科学光电子学图层（电子）制作晶体管化学机械平面化电介质高电子迁移率晶体管纳米技术电气工程工程类电压医学病理替代医学

作者

Yuying Xie,Mingsai Zhu,Jianan Deng,Yifang Chen

出处

期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
日期：2021-12-03 卷期号：253: 111675-111675 被引量：3

标识

DOI：10.1016/j.mee.2021.111675

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