SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
亲爱的研友该休息了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！身体可是革命的本钱，早点休息，好梦！
Research progress of ceria abrasives in STI CMP: optimization and application
化学机械平面化
磨料
抛光
浅沟隔离
材料科学
硅
氮化硅
研磨
二氧化硅
纳米技术
工艺工程
过程（计算）
表面粗糙度
选择性
碳化硅
冶金
表面完整性
纳米
表面改性
作者
Xinyu Zhao,
Xinyu Han,
Baimei Tan,
Jiadong Zhao,
Wenyue Qi,
Jiaji Geng,
Yunhui Shi,
Yanyan Huang
出处
期刊：
The International Journal of Advanced Manufacturing Technology
[Springer Science+Business Media]
日期：2025-09-23
卷期号：140 (9-10): 4625-4642
被引量：2
链接
springer.com
doi.org
标识
DOI：10.1007/s00170-025-16607-3
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
嘟嘟
完成签到，获得积分
10
18秒前
Copyright
上传了
应助文件
30秒前
汉堡包
的
应助
被
魔幻毛豆
采纳，获得
10
31秒前
爱思考的小笨笨
完成签到，获得积分
10
38秒前
飞天大南瓜
完成签到，获得积分
10
40秒前
火星上飞珍
完成签到
，获得积分
10
44秒前
Kao
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
45秒前
orixero
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
45秒前
情怀
上传了
应助文件
46秒前
852
的
应助
被
jmy1995
采纳，获得
10
47秒前
愉快的真
发布了新的
文献求助
10
53秒前
上官若男
上传了
应助文件
1分钟前
赫123
发布了新的
文献求助
10
1分钟前
充电宝
的
应助
被
赫123
采纳，获得
10
1分钟前
Lan
完成签到
，获得积分
10
2分钟前
科研通AI6.2
上传了
应助文件
2分钟前
852
上传了
应助文件
2分钟前
jmy1995
发布了新的
文献求助
10
2分钟前
大风
发布了新的
文献求助
10
2分钟前
Lemuel
完成签到，获得积分
10
2分钟前
汉堡包
上传了
应助文件
2分钟前
Kao
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
2分钟前
小马甲
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
2分钟前
魔幻毛豆
发布了新的
文献求助
10
2分钟前
魔幻毛豆
完成签到，获得积分
10
2分钟前
香蕉觅云
上传了
应助文件
2分钟前
Copyright
上传了
应助文件
2分钟前
愉快的真
发布了新的
文献求助
100
2分钟前
CodeCraft
上传了
应助文件
3分钟前
柳贯一
发布了新的
文献求助
10
3分钟前
zest
完成签到，获得积分
10
4分钟前
思源
的
应助
被
jmy1995
采纳，获得
10
4分钟前
思源
上传了
应助文件
4分钟前
Kao
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
4分钟前
Kao
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
4分钟前
Kao
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
4分钟前
Kao
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
4分钟前
Kao
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
4分钟前
jmy1995
发布了新的
文献求助
10
4分钟前
Copyright
上传了
应助文件
4分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Nondestructive Testing Handbook: Vol. 4, Thermal and Infrared Testing (IR), 4th ed
800
作者名：Kristopher P. Plain，悉尼大学的，目前只能查到其四篇论文，想找到其博士论文
590
Évora na Idade Média
555
Soil mites of the family Rhagidiidae (Actinedida: Eupodoidea). Morphology, Systematics, Ecology
520
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition
510
Radical Reactions
500
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7370051
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
8977594
关于积分的说明
19086957
捐赠科研通
7012748
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3224936
关于科研通互助平台的介绍
2388391
邀请新用户注册赠送积分活动
2205564
今日热心研友
Kao
31
1130
Copyright
87
220
潇洒的惋清
36
150
Criminology34
11
390
Nole
32
160
愉快的真
8
310
大力的冬萱
5
180
loii
7
110
OK
7
100
whisper
120
dxp123
110
SJH
6
40
火星上的菲鹰
5
40
厘米
6
30
嘉心糖
2
60
YifanWang
80
范特西
80
fengfeiyang
7
lizishu
70
ousqki
70
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Kao
Copyright
潇洒的惋清
Criminology34
Nole
愉快的真
大力的冬萱
loii
OK
whisper
dxp123
SJH
火星上的菲鹰
厘米
嘉心糖
YifanWang
范特西
fengfeiyang
lizishu
ousqki
皖公网安备34019202002308
