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Electrostatic-Assisted Ultrasonic Spray-Coating for Nanotechnology Applications

材料科学纳米技术超声波传感器涂层声学物理

作者

V. A. Petukhov,Nikolai S. Struchkov,В. К. Неволин

出处

期刊：Russian Microelectronics [Pleiades Publishing]
日期：2023-12-01 卷期号：52 (S1): S209-S214

标识

DOI：10.1134/s1063739723600681

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