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作者
V. A. Petukhov,
Nikolai S. Struchkov,
В. К. Неволин
出处
期刊：
Russian Microelectronics
[Pleiades Publishing]
日期：2023-12-01
卷期号：52 (S1): S209-S214
标识
DOI：10.1134/s1063739723600681
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