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A Biomimetic Metal Diaphragm Vibration Sensor with High-Frequency Response Based on a Rigid-Flexible Hybrid Design Strategy
振膜（声学）
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作者
Hsien Tang Wu,
Cong Wang,
Xiaojin Xu,
Zhengzhi Mu,
Jingxiang Wang,
Shichao Niu,
Xiao Liu,
Xiaosong Feng,
Linpeng Liu,
Ji’an Duan,
Zhiwu Han
出处
期刊：
ACS applied electronic materials
[American Chemical Society]
日期：2025-05-08
标识
DOI：10.1021/acsaelm.5c00576
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