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Highly Selective Silicon Dry Chemical Etch Technique for Advanced FinFET Technology
材料科学
硅
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蚀刻（微加工）
薄脆饼
MOSFET
作者
Zhenxing Bi
出处
期刊：Meeting abstracts
日期：2018-10-01
链接
confex.com
doi.org
标识
DOI：10.1149/ma2018-02/16/686
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