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In-situ monitoring of stress evolution in high power impulse magnetron sputtering-deposited Ti-Al-N films: Effect of substrate bias and temperature

材料科学 高功率脉冲磁控溅射 残余应力 压力（语言学） 溅射沉积 基质（水族馆） 偏压 复合材料 溅射 薄膜 纳米技术 电气工程 电压 语言学 海洋学 地质学 工程类 哲学
作者
Pedro Renato Tavares Ávila,O. Zabeida,Luis Bernardo Varela,J.E. Klemberg-Sapieha,L. Martinů
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2023-09-30 卷期号：784: 140069-140069 被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2023.140069
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