Wafer scale Ge-on-Si metalens for the mid-infrared

薄脆饼 红外线的 比例(比率) 光电子学 材料科学 光学 物理 量子力学
作者
Yanyan Zhou,Qize Zhong,Zhihao Ren,Landobasa Y. M. Tobing,Yuan Hsing Fu,Rachel Ang,Bo Li,Hong Zhou,Chengkuo Lee,Lennon Y. T. Lee
标识
DOI:10.1364/ofc.2023.m4i.3
摘要

We report the first demonstration of metalens devices fabricated on an 8-inch Ge-on-Si wafer for the mid-infrared regime. Experimental observations of beam focusing show good match with the design.
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