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作者
R. Steingrüber,
Martin G. Möhrle,
A. Sigmund,
Walter Fürst
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2002-07-01
卷期号：61-62: 331-335
被引量：16
标识
DOI：10.1016/s0167-9317(02)00517-8
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