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作者
Rajesh Kumar,Mark Auch,Eric C.‐W. Ou,Ewald Guenther,Chua Soo Jin
出处
期刊:Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期:2002-09-01
卷期号:417 (1-2): 120-126
被引量:95
标识
DOI:10.1016/s0040-6090(02)00584-9
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