SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Chamber Conditions Control with Waferless Auto Clean Strategy in BEOL Aluminum Metal Etching Process
蚀刻（微加工）
材料科学
铝
过程（计算）
冶金
过程控制
光电子学
计算机科学
复合材料
操作系统
图层（电子）
作者
Guo-Hui Jia,
Changsheng Wei,
Li-Tian Xu
标识
DOI：10.1109/cstic64481.2025.11017916
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
老实妙之
完成签到，获得积分
10
刚刚
z_king_d_23
完成签到，获得积分
10
1秒前
mo
完成签到
，获得积分
10
1秒前
nenoaowu
发布了新的
文献求助
10
1秒前
浩浩浩
完成签到，获得积分
10
1秒前
蒲公英
完成签到，获得积分
10
1秒前
gwc
完成签到，获得积分
10
1秒前
曾经很有自信
发布了新的
文献求助
10
2秒前
英姑
上传了
应助文件
2秒前
乐乐
上传了
应助文件
2秒前
zhouleiwang
完成签到，获得积分
10
2秒前
RamonMi
完成签到，获得积分
10
2秒前
风火轮
关注了科研通微信公众号
2秒前
我是老大
上传了
应助文件
2秒前
风趣从霜
完成签到，获得积分
10
2秒前
DEVIL
完成签到，获得积分
10
3秒前
大模型
的
应助
被
Lingtem
采纳，获得
10
3秒前
DAI正杰
发布了新的
文献求助
10
3秒前
芷荷
完成签到，获得积分
10
4秒前
有魅力夏菡
发布了新的
文献求助
10
4秒前
郑文涛
完成签到，获得积分
10
5秒前
yanyan
完成签到，获得积分
10
5秒前
FR
完成签到，获得积分
10
5秒前
JamesPei
的
应助
被
wwwwwwwwww
采纳，获得
10
6秒前
慕青
上传了
应助文件
6秒前
DXY
完成签到，获得积分
10
6秒前
Tanaka
发布了新的
文献求助
10
7秒前
llly
完成签到，获得积分
10
7秒前
E1X5T
发布了新的
文献求助
10
7秒前
nenoaowu
完成签到，获得积分
10
7秒前
minerva
完成签到，获得积分
10
7秒前
火星上的画板
完成签到，获得积分
10
8秒前
朵朵
完成签到，获得积分
10
8秒前
整齐的泥猴桃
完成签到
，获得积分
10
8秒前
英姑
上传了
应助文件
8秒前
光亮靖仇
完成签到
，获得积分
10
8秒前
zyjdxb
发布了新的
文献求助
10
8秒前
搜集达人
上传了
应助文件
8秒前
岩岫清风
完成签到，获得积分
10
9秒前
柏柏
的
应助
被
zyc
采纳，获得
10
9秒前
高分求助中
Principles of Economics, 11th Edition
10000
University Physics with Modern Physics, 16th edition
10000
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Molecular Mechanisms of Photosynthesis, 4th Edition
1000
Organic Reactions, Volume 116
1000
Current concepts in cutaneous toxicity : proceedings of the Fourth Conference on Cutaneous Toxicity, Washington, D.C., May 9-11, 1979
1000
The recovery-stress questionnaires : user manual
800
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7257962
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
8879792
关于积分的说明
18758913
捐赠科研通
6938331
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3201177
关于科研通互助平台的介绍
2375264
邀请新用户注册赠送积分活动
2177017
今日热心研友
Kao
620
1380
毛豆
273
1300
cdercder
145
620
Copyright
1480
GingerF
13
1030
东方元语
25
320
发生了什么
41
120
学术文献互助
480
yjh123
17
310
Criminology34
18
250
YifanWang
16
240
arniu2008
5
310
Nexus
7
270
Oracle
6
260
NYX
300
MchemG
6
180
沉默的雪枫
8
140
sagitar
210
小荷才露尖尖角
8
100
无极微光
140
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Kao
毛豆
cdercder
Copyright
GingerF
东方元语
发生了什么
学术文献互助
yjh123
Criminology34
YifanWang
arniu2008
Nexus
Oracle
NYX
MchemG
沉默的雪枫
sagitar
小荷才露尖尖角
无极微光
皖公网安备34019202002308
