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Stitching-angle measurable microscopic-interferometer: Surface-figure metrology tool for hard X-ray nanofocusing mirrors with large curvature

图像拼接 计量学 干涉测量 光学 表面计量学 轮廓仪 天文干涉仪 尺寸计量学 曲率 计量系统 光学（聚焦） 曲面镜 材料科学 物理 表面光洁度 数学 复合材料 几何学 天文
作者
Hirokatsu Yumoto,Hidekazu Mimura,Soichiro Handa,Takashi Kimura,Satoshi Matsuyama,Yasuhisa Sano,Haruhiko Ohashi,Kazuto Yamauchi,Tetsuya Ishikawa
出处
期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research [Elsevier BV]
日期：2009-12-04 卷期号：616 (2-3): 203-206 被引量：22
标识
DOI：10.1016/j.nima.2009.11.073
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