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作者
Mahmoud A. Ahmed,
Arafat Toghan,
Mohamed Farag,
Ashraf A. Mohamed
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2025-11-21
卷期号：204: 110257-110257
被引量：16
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2025.110257
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