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Functionalization of Si 3 N 4 with an aldehyde inhibitor for area selective deposition of HfO 2 and SiO 2
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作者
Byungchan Lee,
Seungwon Shim,
Ngoc Le Trinh,
Aravind H. Patil,
Chi Thang Nguyen,
Taehoon Cheon,
Soo‐Hyun Kim,
Youngho Kang,
Han‐Bo‐Ram Lee
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2025-01-01
卷期号：13 (37): 19316-19329
被引量：3
标识
DOI：10.1039/d5tc01969a
摘要
Area selective deposition of HfO 2 and SiO 2 using BAD inhibitor.
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