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Non-destructive metrology techniques for measuring hole profile in DRAM storage node

德拉姆计量学节点（物理）计算机科学光存储材料科学嵌入式系统光电子学计算机硬件工程类光学物理结构工程

作者

Ji-Hoon Lee,Sunghee Mo,Suho Ryu,Sang Hee Han,Sangyouk Lee,Han Leng

标识

DOI：10.1117/12.3010503

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