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Oxynitride Glasses and Silicon Nitride Processing

氮化硅 材料科学 氮化硅 氮化物 硅 光电子学 纳米技术 图层（电子）
作者
Ronald E. Loehman
出处
期刊：John Wiley & Sons, Inc. eBooks [Wiley]
日期：2008-03-26 卷期号：: 35-49 被引量：5
标识
DOI：10.1002/9780470318140.ch4
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