Effects of hydrogen flow on properties of hydrogen doped ZnO thin films prepared by RF magnetron sputtering

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作者
Yuehui Hu,Yichuan Chen,Jun Chen,Xinhua Chen,Defu Ma
出处
期刊:Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
卷期号:114 (3): 875-882 被引量:8
标识
DOI:10.1007/s00339-013-7733-0
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