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作者
Dhananjay Bodas,
Chantal Khan‐Malek
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2006-02-24
卷期号：83 (4-9): 1277-1279
被引量：384
链接
hal.science
archives-ouvertes.fr
doi.org
标识
DOI：10.1016/j.mee.2006.01.195
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