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Electrical properties and thermistor behavior of TiAlN thin films deposited by combinatorial sputtering

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作者
Bruno Martins,Carlos Patacas,A. Cavaleiro,Pedro Faia,Олександр Бондарчук,Filipe Fernandes
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2023-04-28 卷期号：464: 129545-129545 被引量：11
链接
sciencedirect.com handle.netdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2023.129545
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