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Enhanced performance of bionic ciliary piezoelectric microsensor for hydrodynamic perception

压电有限元法微电子机械系统材料科学声学谐振器工程类物理结构工程电气工程光电子学

作者

Xingxu Zhang,Jianbin Luo,Xiaobiao Shan,Tao Xie,Binghe Ma

出处

期刊：International Journal of Mechanical Sciences [Elsevier BV]
日期：2023-01-28 卷期号：247: 108187-108187 被引量：21

标识

DOI：10.1016/j.ijmecsci.2023.108187

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