A Snapshot Review on Salicide Technology Evolution for CMOS Fabrication from the Perspective of Process Integration

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作者
Yunlong Jia,Li Zhao,Wenqing Xu,Chenyu Sun,Nong Xu,Xin Sun,Wei Sun,Chunzhen Wang,Liwei Lan,Hua Zhang,Mingxuan Liu,Mingdong Dong,Mohan Gao,Xiaoping Shi
标识
DOI:10.1109/cstic64481.2025.11017875
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