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Chemistry in Cryogenic Etching: A Tutorial

蚀刻（微加工）硅化学吸附基质（水族馆）图层（电子）低温学钝化纳米技术等离子体等离子体刻蚀过程（计算）各向同性腐蚀工程物理材料科学化学反应

作者

Rémi Dussart,Gaëlle Antoun,Thomas Tillocher,Loı̈c Becerra,Philippe Lefaucheux

出处

期刊：Plasma Chemistry and Plasma Processing [Springer Science+Business Media]
日期：2025-12-11 卷期号：46 (1)

标识

DOI：10.1007/s11090-025-10622-8

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