The electrical property of plasma-treated Ta/TaNx diffusion barrier

作者
Yusheng Wang,Wen-Hsi Lee,Ying-Lang Wang,Chi-Cheng Hung,Shih-Chieh Chang
出处
期刊:Journal of Physics and Chemistry of Solids [Elsevier BV]
卷期号:69 (2-3): 601-604 被引量:15
标识
DOI:10.1016/j.jpcs.2007.07.048

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