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The electrical property of plasma-treated Ta/TaNx diffusion barrier
作者
Yusheng Wang,
Wen-Hsi Lee,
Ying-Lang Wang,
Chi-Cheng Hung,
Shih-Chieh Chang
出处
期刊:
Journal of Physics and Chemistry of Solids
[Elsevier BV]
日期:2007-07-22
卷期号:69 (2-3): 601-604
被引量:15
标识
DOI:10.1016/j.jpcs.2007.07.048
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