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Investigation of Plasma Activation Directions for Low-Damage Direct Bonding
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作者
Shicheng Zhou,
Xiaoyun Qi,
Hui Fang,
Chenxi Wang
出处
期刊：
ECS Journal of Solid State Science and Technology
[Institute of Physics]
日期：2020-09-22
标识
DOI：10.1149/2162-8777/abb8bd
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