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Influence of chemisorption on the double hysteresis phenomenon during reactive sputtering

化学吸附 溅射 磁滞 化学 离子 材料科学 化学物理 物理化学 纳米技术 吸附 薄膜 凝聚态物理 物理 有机化学
作者
Josja Van Bever,Koen Strijckmans,Diederik Depla
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2022-12-07 卷期号：613: 155901-155901 被引量：8
链接
els-cdn.com ugent.bedoi.org
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2022.155901
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