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作者
D. Maldonado,
Samuel Aldana,
Mireia Bargalló González,
F. Jiménez-Molinos,
M.J. Ibáñez,
D. Barrera,
F. Campabadal,
J.B. Roldán
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier]
日期：2022-02-07
卷期号：257: 111736-111736
被引量：24
链接
handle.net
ugr.es
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doi.org
标识
DOI：10.1016/j.mee.2022.111736
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