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Research Progress on Measurement Methods and Influence Factors of Thin-film Stress
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作者
Yibo Ma,
Mu Chen,
Yan Yue,
Weiming Liu,
WEI Youxiu,
Xiaofeng Zhang,
Jia-Ming Li
出处
期刊：
DOAJ: Directory of Open Access Journals - DOAJ
日期：2018-02-01
被引量：1
链接
doaj.org
doi.org
标识
DOI：10.11868/j.issn.1005-5053.2017.000126
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