钛
锆
氮气
化学计量学
氧气
材料科学
X射线光电子能谱
氮化锆
溅射
溅射沉积
氩
薄膜
结晶学
分析化学(期刊)
化学工程
化学
纳米技术
氮化物
冶金
氮化钛
图层(电子)
物理化学
有机化学
工程类
色谱法
作者
A. Rizzo,M.A. Signore,L. Mirenghi,T. Di Luccio
出处
期刊:Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期:2009-03-26
卷期号:517 (21): 5956-5964
被引量:66
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2009.03.131
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI