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Emerging laser-assisted vacuum processes for ultra-precision, high-yield manufacturing
激光器
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作者
Eunseung Hwang,
Joonmyung Choi,
Sukjoon Hong
出处
期刊：
Nanoscale
[The Royal Society of Chemistry]
日期：2022-01-01
卷期号：14 (43): 16065-16076
被引量：5
链接
nih.gov
doi.org
标识
DOI：10.1039/d2nr03649e
摘要
This minireview summarizes the latest developments in laser-assisted vacuum processes (LAVPs) and examines their prospective application in next-generation manufacturing processing equipment.
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