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Fabrication of three-dimensional microstructures on GaN surfaces through the integration of femtosecond laser ablation and ICP etching

材料科学 飞秒 光学 制作 蚀刻（微加工） 氮化镓 激光器 光电子学 感应耦合等离子体 微观结构 等离子体 纳米技术 复合材料 图层（电子） 替代医学 病理 物理 医学 量子力学
作者
Yan Ou,Peiling Kong,Jinwen Qian,Yifeng Xiao,Sheng Li,Zhengqiang Feng,Minmin Sheng
出处
期刊：Optics Communications [Elsevier BV]
日期：2024-06-26 卷期号：569: 130822-130822
标识
DOI：10.1016/j.optcom.2024.130822
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