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Low Coherence Interferometric System for MEMS/MOEMS Testing
作者
Anna Pakuła,
Leszek Sałbut
出处
期刊：
Mechatronics
[Elsevier BV]
日期：2011-01-01
卷期号：: 777-784
标识
DOI：10.1007/978-3-642-23244-2_93
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