Microstructure and superhardness effect of CrAlN/SiO2 nanomultilayered film synthesized by reactive magnetron sputtering

材料科学 微观结构 无定形固体 图层(电子) 溅射沉积 外延 复合材料 薄膜 溅射 冶金 结晶学 纳米技术 化学
作者
Wei Li,Kangpei Zheng,Ping Liu,Pinwen Zhu,Ke Zhang,Fengcang Ma,Xinkuan Liu,Xiaohong Chen,Daihua He
出处
期刊:Materials Characterization [Elsevier BV]
卷期号:118: 79-84 被引量:9
标识
DOI:10.1016/j.matchar.2016.05.016
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