Microstructures and optoelectronic properties of nickel oxide films deposited by reactive magnetron sputtering at various working pressures of pure oxygen environment

材料科学 非阻塞I/O 氧化镍 氧气 薄膜 镍 溅射沉积 结晶度 溅射 分压 带隙 微观结构 物理气相沉积 氧化物 透射率 分析化学(期刊) 光电子学 纳米技术 复合材料 冶金 化学 催化作用 有机化学 生物化学 色谱法
作者
Hui Sun,Sheng‐Chi Chen,Shih-Wen Hsu,Chao-Kuang Wen,Tung‐Han Chuang,Xin Wang
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier BV]
卷期号:43: S369-S375 被引量:36
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2017.05.242
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