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The effect of pressure and growth temperature on the characteristics of polycrystalline In2Se3 films in metal organic chemical vapor deposition

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作者

Seong Man Yu,Jin Hyoung Yoo,Shashikant P. Patole,Jong Hak Lee,Ji‐Beom Yoo

出处

期刊：Electronic Materials Letters [Springer Science+Business Media]
日期：2012-06-01 卷期号：8 (3): 245-250 被引量：9

标识

DOI：10.1007/s13391-012-1107-1

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