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Low coercive field in quasi-epitaxial Al-doped HfO2 films for energy-efficient ferroelectric memories
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作者
In Pyo Hong,
Rui He,
Thi My Huyen Nguyen,
Jae ho Park,
Min Joon Kim,
Chung Wung Bark
出处
期刊：
Journal of materials chemistry. A, Materials for energy and sustainability
[Royal Society of Chemistry]
日期：2025-01-01
卷期号：13 (31): 25673-25682
被引量：5
标识
DOI：10.1039/d5ta02301g
摘要
Quasi-epitaxial Al-doped HfO₂ films by RF sputtering show a remarkably low coercive field (0.42 MV cm −1 at 20 nm), promising energy-efficient ferroelectric memories.
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