Mechanism of the etching rate change of aluminosilicate glass in HF acid with micro-indentation

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作者
Yasuhiro Saito,Shinya Okamoto,Hiroyuki Inomata,Junji Kurachi
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:255 (5): 2290-2294 被引量:14
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2008.07.085
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