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作者
H. Bidadi,
Sajedeh Mohammadi Aref,
Mohammad Ghafouri,
Mojtaba Parhizkar,
Ali Olad
出处
期刊:
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期:2013-01-23
卷期号:16 (3): 752-758
被引量:12
标识
DOI:10.1016/j.mssp.2012.12.022
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